综合媒体报道，ASML决定对供应韩国市场的光刻机替换零部件统一上调价格10%，覆盖EUV与DUV设备全部备件，新价格将从2027年1月起生效。ASML总部于9月初通过韩国分公司向三星电子和SK海力士发出涨价意向，经与两家公司采购部门协商后最终敲定。此次涨价范围包括定期采购的消耗性部件，也包括因故障或性能下降需要更换的光学透镜、反射镜、光源、精密驱动装置等核心组件。

ASML过往通常在原材料大幅上涨或个别材料采购困难时，对对应零部件单独调价。本次对韩国市场EUV、DUV全部替换备件统一提高10%，在业内被视为不常见操作。ASML将已装机设备的售后服务、备件、硬件升级业务单独统计。2025年，该部分业务收入81.93亿欧元，占ASML总营收326.67亿欧元的25%；ASML预计今年该业务收入将增长30%以上。韩国半导体业内人士表示，零部件所用材料普遍涨价是调价原因之一，同时在客户盈利改善阶段，ASML也有提升自身利润空间的考量。

除零部件外，ASML新接订单的设备价格也很可能上调，公司正与主要客户商讨提高设备售价。据The Information此前报道，ASML已通知中国半导体企业等客户DUV设备价格将上调10%，部分客户已接受。但作为ASML最大客户之一的台积电，对设备整体涨价持反对立场。业内认为，三星电子与SK海力士接受韩国市场备件统一涨价后，可能为其他设备与零部件供应商的调价要求提供参照，但是否形成全行业跟涨仍取决于各自客户协商结果。

设备端涨价已不止ASML一家，这一涨价趋势已在多家头部企业中蔓延。美国应用材料公司在今年8月的业绩发布中表示，新产品与现有产品价格均已提升。日本东京电子在7月末的业绩说明会上表示，正推进包括在售设备在内的价格调整。美国等离子电源设备商Advanced Energy也宣布对部分产品线提价。