国产EUV光源系统样机近日亮相,其国产化率达90%,验证了技术路线可行性。不过该样机目前仍处于工程验证阶段,距离商用量产仍需3-5年。日前,在第26届 ...…
数据显示,日本4月半导体制造设备销售额达3891.06亿日元,同比增长15.7%,创下17个月来单月最大增幅,持续冲破3000亿日元大关… ...
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