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蔡司:中国开发可商用EUV光刻机仍需15年

香港天翔電子有限公司 / 09-07 16:25

德国蔡司集团半导体业务负责人弗兰克·罗蒙德(Frank Rohmund)日前在彭博电视的访谈中表示,开发出可商用的极紫外(EUV)光刻机仍需15年,这是一个“合理的假设”。

德国蔡司集团半导体业务负责人弗兰克·罗蒙德(Frank Rohmund)日前在彭博电视的访谈中表示,中国在尖端芯片制造设备领域约落后15年,开发出可商用的极紫外(EUV)光刻机仍需15年,这是一个合理的假设。他同时补充说,中国实际的进展“很难量化”。

作为ASML EUV光学系统的独家供应商、全球约80%芯片制造流程中都有蔡司元件参与的“隐形中枢”,蔡司的这一表态迅速被全球科技媒体引用。

“15年”是怎么算出来的?

罗蒙德所说的“15年”,本质上是一种工程经验外推:ASML从1997年启动EUV研发,到2016年交付首台量产机型,历时约20年。以这条路径为参照,从零重建被禁运的整条供应链,15年的量级在逻辑上是自洽的。

瑞银分析师Francois-Xavier Bouvignies团队在本周发布的报告中指出,从专利活跃度判断,中国EUV技术成熟度大致相当于ASML在2004年的阶段,距稳定商用仍需10年以上。

但这一外推有一个隐含前提——假设中国必须复刻ASML走过的完整路径。而且“是在封锁条件下”。这个假设是否成立,成为争论的核心分歧点。

作为人类工业史上最复杂的设备之一,蔡司和瑞银的估算有其合理性——EUV光刻机包含超过十万个精密零件,串联起超高精度反射光学、专用光源、高等级真空环境、超精密机械、专用计量检测、特种材料等大量细分环节,不是单项技术突破就能解决的系统工程。

但中国方面走的并非“复刻”路线,而且很多突破是在“被切除全球供应链”的前提下重新排定的优先级。罗蒙德自己也承认“进展难量化”,恰恰是因为这套路径无法被ASML的历史经验直接对标。

出口管制:被低估的变量

罗蒙德访谈里还有一句话是:“我们不相信这些出口限制会带来正面效果,因为它会加速中国的创新。

ASML CEO Christophe Fouquet也表达过类似观点——封锁不会削弱中国已有的能力,只会逼其自研发。

这与CSIS等智库的研究结论一致:美国此前的管制“主要影响是加速了中国国产设备的应用”。2026年4月提出的MATCH法案拟将浸没式DUV和维保服务一并纳入限制,试图进一步切断中国获取成熟制程设备的渠道。但历史经验表明,越是将对手逼入“存亡问题”的境地,自主化的动力越强——富凯的比喻是“把中国丢进沙漠,他会多久开垦出自己的菜园。”

综合来看,Frank的观点提供了来自核心供应链企业的一个观察视角,但不能当作既定事实。光刻的追赶,不只是硬件零部件的复刻,更是材料、工艺、工程经验、软件生态整套体系的补齐。未来产业节奏,终究还要看本土产业链一步步的工程落地结果。


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